產(chǎn)品時(shí)間:2024-04-15
半導體FPD檢查金相顯微鏡支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 4、6、8、12英寸多種轉盤(pán),可適用不同尺寸的晶圓檢查。為用戶(hù)提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。
半導體FPD檢查金相顯微鏡
仰角可調觀(guān)察筒
0-35°觀(guān)察角度可調,適合不同身高的用戶(hù),降低了對工作環(huán)境的要求,讓不同的使用者都能找到觀(guān)察角度,減輕了長(cháng)時(shí)間工作帶來(lái)的不適與疲勞,大幅度提高工作效率。
全新離合驅動(dòng)式載物臺
MX12R 采用離合式手柄,用戶(hù)按下離合扳手就可靈活移動(dòng)平臺,無(wú)需長(cháng)時(shí)間捏緊手柄;按下離合按鈕,取消快速移動(dòng)。避免長(cháng)時(shí)間操作出現手麻現象,并加快觀(guān)察速度。 MX12R 引入精密導軌傳動(dòng)機構,移動(dòng)輕順暢,產(chǎn)品穩定可靠。
安全、高速的電動(dòng)式物鏡轉換器
設有前進(jìn)、后退兩檔切換模式,可快速、準確定位到所需要的觀(guān)察倍率,重復定位精度高。機械式的切換模式,有效提升了轉換器的使用壽命。
按鍵觸手可及,助您提高工作效率
MX12R 物鏡與孔徑光闌采用電動(dòng)控制系統,其操作按鍵位于儀器正前方,讓您觸手可及。人性化的電動(dòng)設計不僅避免了頻繁的手動(dòng)操作步驟,也使您的檢測工作也更加準確、靈活。
防震支架設計
機身由六端支架支撐,低重心、高穩定性全金屬機架,具備強效的抗震功能,確保像質(zhì)穩定。
豐富的應用領(lǐng)域
MX12R 集成了明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC 等多種觀(guān)察功能。 廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。
半導體FPD檢查金相顯微鏡 技術(shù)規格
光學(xué)系統
無(wú)限遠色差校正光學(xué)系統
觀(guān)察方式
明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC
觀(guān)察筒
無(wú)限遠鉸鏈三通觀(guān)察筒,0-35°傾角可調,正像,瞳距調節 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100
目鏡
高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡 PL10X/25mm,視度可調,可帶單刻度十字分劃版
物鏡
無(wú)限遠明暗場(chǎng)半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X
無(wú)限遠長(cháng)工作距明暗場(chǎng)半復消金相 DIC 物鏡 20X
無(wú)限遠長(cháng)工作距明暗場(chǎng)半復消金相物鏡 50X 100X
轉換器
明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉換器,帶 DIC 插槽
機架組
反射式機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統
透反機架,前置低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程 35mm,微調精度 0.001mm。帶有防止下滑的調節松緊裝置和隨機上限位裝置。內置 100-240V 寬電壓系統
載物臺
右手位 14×12 英寸三層機械移動(dòng)平臺,低手位 X、Y 方向同軸調節 ;平臺面積 718mmX420mm,移動(dòng)范圍 :356mmX305mm
帶離合器手柄,可用于全行程范圍內快速移動(dòng) ;玻璃載物臺板 ( 反射用)
電動(dòng)平臺
面積 495mmX641mm,移動(dòng)范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動(dòng),重復定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺
照明系統
明暗場(chǎng)反射照明器 , 帶可變電動(dòng)孔徑光闌,視場(chǎng)光闌 , 中心均可調 ;帶明暗場(chǎng)照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽
攝影攝像附件
0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調焦
其他
起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 組件