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產(chǎn)品展示
PRODUCT DISPLAY
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OLED顯微鏡

產(chǎn)品時(shí)間:2024-04-14

簡(jiǎn)要描述:

OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED發(fā)光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量著(zhù)重于準確度,系統底座采用鑄件/花崗石本體結構,減震系統克服環(huán)境震動(dòng)問(wèn)題,可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問(wèn)題。系統采用XY軸光學(xué)尺模塊可實(shí)現跨距量測。

產(chǎn)品名稱(chēng):OLED顯微鏡
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED發(fā)光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測著(zhù)重于準確度,系統底座采用鑄件/花崗石本體結構,減震系統克服環(huán)境震動(dòng)問(wèn)題,可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問(wèn)題。系統采用XY軸光學(xué)尺模塊可實(shí)現跨距量測。光學(xué)系統采用Nikon/Olympus熒光顯微鏡光路實(shí)現對OLED的激發(fā)。人性化計算機量測模式,有效提高觀(guān)察定位效率。專(zhuān)為使用者設計*機型,使操作更便利、測量更迅速。

產(chǎn)品特點(diǎn):

 手動(dòng)量測系統XY采用精密無(wú)牙螺桿傳動(dòng),減少齒輪傳動(dòng)偏移誤差

線(xiàn)性馬達/伺服馬達用于自動(dòng)化量測傳動(dòng)系統,能實(shí)現高精度測量

系統采用被動(dòng)式or主動(dòng)式減震系統,能克服環(huán)境震動(dòng)問(wèn)題,可解決高倍率解析時(shí)的震動(dòng)問(wèn)題

系統使用Nikon/Olympus 熒光顯微光路,有效激發(fā)OLED發(fā)射光譜

系統使用人體工學(xué)設計理念設計,符合友好化測量

設備應用:

 設備主要應用OLED的顯微分析和蒸鍍測量上

量測工具

點(diǎn),線(xiàn),圓,弧,橢圓,槽型,曲線(xiàn)等各項不規則外型取樣

形位公差

真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項形位公差設置

UV功能驗證

UV光源下圖像清晰

斷面測量

按照PO spec要求進(jìn)行測試并保存結果

自動(dòng)計算offset

根據蒸鍍有機材料的位置與設定的蒸鍍位置對比,計算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對比,計算offset

UV光和鹵素光自動(dòng)切換

在軟件中點(diǎn)擊切換按鈕后,可以自動(dòng)切換光源并呈現相應的圖像

SPC

軟件須附帶SPC功能,量測之數據須能自動(dòng)導出作分析

報表輸出

軟件可客制化輸出客戶(hù)所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG

 

 

7.3.2 設備配置&特征

7.3.2System Configuration& Characteristic

 

 

外部尺寸:L*W*H≤2500*2500*2000mm
External Size: L*W*H≤2500*2500*2000mm

 

*測量行程:X*Y≥750*650mm

            Z≤100mm

 

重量:≤5000kg
 

 

承重:≥10kg

Capacity: ≥10kg

 

*高測量準確度:XYZ≤1μm

*Maximum Accuracy: XYZ≤1μm

 

*機臺重復性:≤1μm

*Machine Repeatability:≤1μm

 

XYZ最小移動(dòng)距離:XYZ≤1um

XYZ minimum move distance: XYZ≤1um

 

XYZ移動(dòng)精度: XYZ≤1um

XYZ move precision: XYZ≤1um

 

*XYZ軸移動(dòng)速度: XYZ≤200mm/s
*XYZ Speed: XY≤200mm/s

 

7.3.3機械本體

7.3.3 Mechanics

主機:影像測量系統,四軸CNC控制

Machine: 4-axis CNC video measuring machine

 

機械結構:花崗巖或相同性能材質(zhì)

Structure: Granite or comparable material

 

平面度公差:≤7um

Platness Tolerance: ≤7um

 

*光柵尺分辨率:XYZ≤0.5um
*Scale resolution: XYZ ≤0.5um

 

*攝像機:彩色相機,200萬(wàn)像素,WAN接口

*Camera: Color camera, 2000000 pixels,  the wan interface

 

*CCD芯片尺寸:≥2/3英寸

*CCD Size: ≥2/3 inch      

 

光學(xué)系統配置:檢偏鏡,起偏鏡,紅藍綠濾光片,0.5X C接口,明暗場(chǎng)光學(xué)系統,五孔電動(dòng)鼻輪

The optical system configuration:  a polarizer, red green and blue filters, 0.5X C-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel

 

*光學(xué)放大倍率:5X/10X/20X/50X/100X

 

光源特征:光源可以采用鹵素燈、汞燈,壽命滿(mǎn)足SPEC要求

 

7.3.5電控系統、

7.3.5 Control System

電機:直流伺服電機

Dynamo:DC servo motor

 

操作類(lèi)型:鼠標和操作手柄,按鍵

Control Type: Mouse and Joystick

 

7.3.6軟件系統

7.3.6 Software System

功能:點(diǎn),直線(xiàn),圓,弧,橢圓,槽等測量功能,帶有線(xiàn)追蹤功能,粒子計數,軟件定位系統,軟件控制光源亮度,軟件控制電動(dòng)鼻輪,軟件控制孔徑光闌

 

圖像:可復制,可進(jìn)行大面積圖形無(wú)縫拼接

Image:  can copy

 

*數據格式:JPG/Excel

*Data format: JPG/Excel

 

7.3.7 其它

7.3.7 Others

*防微振裝置:達到VC-B級別的防震平臺

*Anti-vibration device: Yes

 

*靜電防護:離子風(fēng)棒

*ESD: BUAS

 

 

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