臺式電鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡相比,臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡(jiǎn)便、價(jià)格便宜、快速抽真空等優(yōu)勢,臺式掃描電子顯微鏡分辨力能滿(mǎn)足多數材料的顯微觀(guān)察。
臺式掃描電子顯微鏡*光學(xué)顯微鏡與傳統大型掃描電子顯微鏡之間的分辨率空白區域,可廣泛應用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
下面讓我們來(lái)了解一下臺式電鏡的設計背景及組成吧
隨著(zhù)科學(xué)研究與工業(yè)生產(chǎn)進(jìn)入了納米領(lǐng)域,人們對顯微技術(shù)、顯微儀器的要求越來(lái)越高,需求也日益增長(cháng)。
光學(xué)顯微鏡價(jià)格便宜,操作簡(jiǎn)單,但由于可見(jiàn)光波長(cháng)的限制,其放大倍數只能達到1000倍左右;傳統大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數可以達到數萬(wàn)倍,具有大景深,是當前材料科學(xué)、生物科學(xué)領(lǐng)域常用的表征手段之一,但其投資巨大,而且需要經(jīng)過(guò)嚴格培訓的操作人員,使用不便。
臺式電鏡結合光學(xué)顯微鏡與傳統掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數和大景深,同時(shí)體積小、操作簡(jiǎn)便,價(jià)格僅為傳統電鏡的幾分之一,逼近光學(xué)顯微鏡。臺式掃描電子顯微鏡操作方便、維護簡(jiǎn)單等特點(diǎn)被認可。
臺式電鏡的組成如下
1、真空系統:二級真空系統,一般采用機械泵加渦輪分子泵組成,電子槍部位真空度10-4Pa,樣品倉真空度可達數十帕
2、電子槍:電子槍的作用是發(fā)射出作為電鏡照明用的電子源。種類(lèi)有:鎢陰極電子槍、氧化物陰極、硼化物陰極(六硼化鑭應用多)、場(chǎng)發(fā)射陰極
3、電磁透鏡:電場(chǎng)和磁場(chǎng)都可以使電子束發(fā)生偏轉,從而使電子束產(chǎn)生匯聚和發(fā)散
4、探測器:背散射電子探測器或二次電子探測器