三維表面檢測儀的全自動(dòng)測量過(guò)程中優(yōu)異的影像識別能力使得全自動(dòng)測量成為可能。批量產(chǎn)品的數據可以通過(guò)按一個(gè)按鈕實(shí)現自動(dòng)測量和自動(dòng)輸出結果,改變傳統的依靠經(jīng)驗的手動(dòng)測量方式,使自動(dòng)測量的重復性控制在微米級,很大程度地提高檢測水平,促進(jìn)制造品質(zhì)的提高。
三維表面檢測儀可加裝激光、探針、轉臺等傳感器,實(shí)現一個(gè)坐標系下的多元傳感的綜合應用,提供復雜測量難題的解決方案。廣泛用于汽車(chē)、電子、五金、塑膠、模具等行業(yè)中,可對工件的尺寸、形狀和形位公差進(jìn)行精密檢測,從而完成零件檢測、外形測量、過(guò)程控制等任務(wù)。
三維表面檢測儀能用于表面微觀(guān)形貌分析的測量系統,按基于不同的物理原理,可將它們分為參數方法和輪廓方法。參數法所產(chǎn)生的參數表示所檢測表面的一些平均性能;而輪廓法逐點(diǎn)掃描獲得形貌信息。輪廓法被認為是可以測量真實(shí)的3D形貌,給出相對于位置高度的定量信息。
按傳統的分類(lèi)方式,表面測量又可分為接觸式和非接觸式。觸針式儀器是典型的接觸方法,而光學(xué)儀器是非接觸式方法,掃描探針顯微鏡既是接觸式又是非接觸式。
光學(xué)測量方法主要的問(wèn)題一直是包含許多的變量,測量參數和表面形貌之間的相關(guān)性難以確定。
因為光與表面干涉的所有現象都受到表面粗糙度的影響,所以光學(xué)方法數量多,如基于反射、繞射、偏振、光斑等研究的方法,橢圓對稱(chēng)法作為用于在線(xiàn)控制表面粗糙度的潛在工具。