硅晶片尺寸測量顯微鏡在工業(yè)發(fā)展中發(fā)揮的的重要作用
工業(yè)生產(chǎn)與科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展,使金屬材料獲得應用。這是因為金屬材料具有機械性能(強度、硬皮、塑性)、物理性能(導電、導熱、導磁等)、化學(xué)性能(耐腐蝕、等)及工藝性能(鑄造性、焊接性、冷熱加工等)。隨著(zhù)原子能技術(shù)、火箭技術(shù)、噴氣技術(shù)、宇航技術(shù)、航海技術(shù)、化學(xué)及無(wú)線(xiàn)電等技術(shù)的應用,對金屬材料的各種性能要求更高,往往要求金屬與合金具有高抗震強度,勵高溫和耐低溫,耐熱沖擊,彈性棋量不隨溫度改變等。而這些性能與材料的金相組織結構是緊密地聯(lián)系在一起的。
很早以前,人們就采用各種方法來(lái)研究金屬與合金的性質(zhì)、性能與組織之間的內在聯(lián)系,以便找到保證金屬與合金材料的質(zhì)量和制造新型合金的方氏但只有在顯微鏡問(wèn)世以后,人們才具備了對金屬材料深入研究的條件。在放大幾百倍甚上萬(wàn)倍的顯微鏡下,觀(guān)察金屬材科的內部組織,即金相組織結構,發(fā)現了金屬的宏觀(guān)性能與金相組織形態(tài)的密切關(guān)系,使得金相組織分拆法成為基本、重要、應用亦廣泛的方法之一。所以在機械制造、冶金企業(yè)及與之相應的研究機關(guān)、理工科高等院校等都沒(méi)有金相檢驗室或金相研究室,利用各種金相顯微鏡從事大量的、復雜的、精細的金相組織研究工作。
金相研究的主要工具是金相顯微鏡。絕大多數的金相研究要靠金相顯微鏡這個(gè)觀(guān)察裝置才能實(shí)現。所以,凡是用來(lái)觀(guān)察、研究金屬組織結構的光學(xué)顯微鏡就稱(chēng)為金相顯微鏡。
金相顯微鏡是冶金、機械制造和交通運輸等工業(yè)生產(chǎn)的眼睛,對防止產(chǎn)生廢品、提高產(chǎn)品質(zhì)量起重要作用。在工業(yè)生產(chǎn)中利用它來(lái)檢查金屬的冶煉和軋制質(zhì)量,控制熱處理工藝過(guò)程,幫助改進(jìn)熱處理工藝,提高工件質(zhì)量;研究金屬材料中非金屬夾雜物的存在,觀(guān)察夾雜物的形態(tài)、大小、分布及其數量,測定夾雜物的光學(xué)性能,從而判斷夾雜物的類(lèi)別,相應評定材料的級別;利用高倍金相顯微鏡對金屬零件斷口進(jìn)行研究,可以根據斷口的形狀判斷晶粒的大小,分析機械破壞的原因;利用高溫金相顯微鏡還可以幫助人們組織轉變的規律,跟蹤轉變過(guò)程,連續觀(guān)察金屬或合金在一段溫度范圍內組織的轉變等。因此,金相顯微鏡應用在鋼鐵冶煉、鍋爐制造、礦山、機床、工具、汽車(chē)、造船、軸承、柴油機、農機等工業(yè)部門(mén),成為工業(yè)生產(chǎn),科學(xué)研究工作使用的光學(xué)儀器。